在1.9kg輕巧機(jī)身內(nèi)實現(xiàn)6L/min穩(wěn)定抽速與干式無油運行，以兩級排氣設(shè)計和50年技術(shù)積淀，定義小型設(shè)備內(nèi)置真空泵的行業(yè)

在半導(dǎo)體自動化、醫(yī)療儀器、實驗室分析和光學(xué)設(shè)備等眾多前沿領(lǐng)域，真空環(huán)境往往是實現(xiàn)精密操作的核心前提。然而，面對日益緊湊的設(shè)備空間、對潔凈度的嚴(yán)苛要求以及連續(xù)穩(wěn)定運行的可靠性需求，傳統(tǒng)的油封式真空泵因體積龐大和油霧污染而難以適用，而大型干泵又因成本和尺寸無法嵌入小型設(shè)備。如何在有限的安裝空間內(nèi)，獲得一臺兼具潔凈無油、穩(wěn)定可靠和易于集成的微型真空源，始終是設(shè)備工程師面臨的核心挑戰(zhàn)。

針對這一需求，日本ULVAC（愛發(fā)科）推出的DAP-6D二段式隔膜型干泵，以其手掌級的緊湊尺寸、干式無油的潔凈設(shè)計和60年真空技術(shù)積淀，成為眾多精密設(shè)備制造商的內(nèi)置真空解決方案。

產(chǎn)品定位：為設(shè)備內(nèi)置而生的微型干式真空泵

DAP-6D隸屬于愛發(fā)科DAP系列隔膜型干泵，是該系列中最小型的膜片泵之一。其設(shè)計理念源于對設(shè)備集成需求的深刻洞察：在半導(dǎo)體封測設(shè)備、醫(yī)療分析儀器、自動化產(chǎn)線等場景中，真空源往往需要嵌入有限空間，同時必須保證不對核心工藝產(chǎn)生任何污染。DAP-6D以91mm（寬）×163mm（長）×100.6mm（高）的緊湊尺寸和1.9kg的輕巧重量，契合了這一需求。

作為一款標(biāo)準(zhǔn)型干式真空泵，DAP-6D專注于提供大氣壓至低真空區(qū)間的穩(wěn)定抽氣能力，在50Hz下有效排氣速度為6L/min，極限壓力可達(dá)6.65×103 Pa（約-94.7 kPa表壓）。這一性能區(qū)間精準(zhǔn)覆蓋了真空吸附、樣品搬運、快速脫氣等絕大多數(shù)設(shè)備內(nèi)置場景的需求。

核心技術(shù)原理：隔膜往復(fù)運動與兩級排氣設(shè)計

DAP-6D的核心技術(shù)在于將經(jīng)典的隔膜泵原理與兩級排氣結(jié)構(gòu)融合。

泵體通過橡膠膜片的往復(fù)運動來形成真空。當(dāng)電機(jī)驅(qū)動偏心輪旋轉(zhuǎn)時，帶動膜片上下往復(fù)運動：吸氣行程中膜片向下運動，泵腔容積增大形成負(fù)壓，吸入氣體；排氣行程中膜片向上運動，壓縮氣體并通過排氣閥排出。這一過程在無油環(huán)境下完成，氣體接觸區(qū)域不使用任何潤滑油，從根本上杜絕了油蒸汽對真空系統(tǒng)和環(huán)境的污染。

二段式（兩級）排氣系統(tǒng)是DAP-6D區(qū)別于單級泵的技術(shù)亮點。兩個泵室串聯(lián)工作，一級排出的氣體進(jìn)入第二級進(jìn)一步壓縮，從而獲得比單級泵更低的極限壓力（更高的真空度）。這種設(shè)計使DAP-6D在保持微型尺寸的同時，實現(xiàn)了媲美大型泵的真空性能。

六大核心技術(shù)特性

1. 干式無油：真正潔凈的真空環(huán)境

DAP-6D的氣體接觸部位不使用油，這意味著它能提供真正潔凈的真空環(huán)境，不會污染被處理的樣品、產(chǎn)品或真空腔室。對于半導(dǎo)體晶圓搬運、醫(yī)療器械、分析儀器等對潔凈度要求高的場合，這一特性使其成為不可替代的選擇。

2. 兩級排氣：微型機(jī)身中的高性能表現(xiàn)

與單級排氣系統(tǒng)相比，兩級結(jié)構(gòu)顯著提升了極限真空度。實測數(shù)據(jù)顯示，DAP-6D的極限壓力可達(dá)6.65×103 Pa，在50Hz下抽速為6L/min，60Hz下可達(dá)7L/min。這一性能足以滿足絕大多數(shù)低真空應(yīng)用的需求。

3. 大氣壓下連續(xù)運行：無需預(yù)抽的即用體驗

DAP-6D明確支持在大氣壓下直接啟動并連續(xù)運行，適用于大氣壓至低真空區(qū)間的各類場合。這一特性使其在真空吸附、包裝機(jī)械等需要頻繁啟停且直接暴露于大氣的應(yīng)用中表現(xiàn)出色。

4. 內(nèi)置自動復(fù)位熱保護(hù)器：全天候安全運行

電機(jī)內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器，在過熱時自動切斷電源，待溫度恢復(fù)正常后自動重啟。這一安全設(shè)計使設(shè)備可長期連續(xù)運行而無需人工干預(yù)，極大提升了系統(tǒng)的可靠性和安全性。

5. 緊湊：手掌級的集成便利性

整機(jī)尺寸僅91×163×100.6mm，重量1.9kg，可輕松嵌入各類小型設(shè)備。無論是半導(dǎo)體檢測設(shè)備的內(nèi)部空間，還是醫(yī)療儀器的有限腔體，DAP-6D都能找到合適的安放位置。

6. 結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便

無油設(shè)計和簡潔的機(jī)械結(jié)構(gòu)，使DAP-6D的維護(hù)工作降至低。無需定期更換油品、無需處理油霧過濾器，大大降低了設(shè)備的全生命周期使用成本。

完整技術(shù)規(guī)格

注：極限壓力括號內(nèi)為真空計顯示值。

典型應(yīng)用場景

DAP-6D憑借其干式無油、緊湊輕量、穩(wěn)定可靠的特點，在眾多領(lǐng)域成為設(shè)備內(nèi)置真空源的：

使用注意事項與維護(hù)建議

為確保DAP-6D長期穩(wěn)定運行，用戶需注意以下事項：

使用禁忌

• 禁止吸入：腐蝕性氣體、有機(jī)溶劑、液體、可凝性氣體（如水蒸氣）

• 禁止進(jìn)入：灰塵、污垢、顆粒物

• 環(huán)境限制：室內(nèi)使用，避免雨淋或潮濕場所

操作注意事項

• 重啟要求：如果在負(fù)荷運行中停止泵，可能無法立即重啟。此時需將泵內(nèi)部恢復(fù)至大氣壓后再啟動

• 安裝注意：由于基礎(chǔ)部件組合公差，M3/M4螺釘位置可能存在微小變化，建議將安裝孔加工為長孔

• 電源注意：200V/230V規(guī)格的電機(jī)，電源線不配中間開關(guān)

產(chǎn)品生態(tài)與選型參考

DAP-6D是愛發(fā)科DAP系列隔膜型干泵的基礎(chǔ)型號，該系列覆蓋6L/min至12L/min的抽速范圍，用戶可根據(jù)具體需求選擇。對于需要更高抽速的應(yīng)用，可考慮DAP-9D、DAP-12S等型號；對于需要單相100V以外電壓的應(yīng)用，DAP-6D提供200V/220-230V可選規(guī)格。

結(jié)語

日本愛發(fā)科DAP-6D二段式隔膜型干泵，以其手掌級的緊湊尺寸、干式無油的潔凈設(shè)計、兩級排氣的優(yōu)異性能和五十年市場驗證的可靠性，成為眾多精密設(shè)備制造商信賴的真空核心。它不僅僅是一個微型真空泵，更是連接設(shè)備功能需求與物理實現(xiàn)之間的關(guān)鍵技術(shù)橋梁。

從晶圓搬運的精準(zhǔn)吸附，到醫(yī)療儀器的無菌操作；從自動包裝的高效運行，到分析儀器的穩(wěn)定采樣——DAP-6D以其低調(diào)而可靠的存在，默默支撐著現(xiàn)代精密設(shè)備的每一次真空操作。在設(shè)備日益向小型化、智能化、高潔凈度發(fā)展的趨勢下，愛發(fā)科DAP-6D所代表的微型干泵技術(shù)，將繼續(xù)為制造業(yè)的創(chuàng)新升級提供源源不斷的真空動力。

關(guān)于ULVAC（愛發(fā)科）
日本ULVAC（愛發(fā)科）是的真空技術(shù)綜合制造商，擁有超過70年的技術(shù)積淀。從微型隔膜泵到大型真空鍍膜設(shè)備，ULVAC始終致力于為工業(yè)企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)提供高精度、高可靠性的真空技術(shù)與解決方案，推動半導(dǎo)體、顯示面板、新能源和生命科學(xué)等領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新與發(fā)展。