
在真空技術(shù)領(lǐng)域,從大氣壓到高真空的寬范圍壓力測量一直是工業(yè)與科研應(yīng)用中的核心需求。日本佐藤真空(SATOVAC)推出的CR-1N潘寧真空計,憑借其冷陰極放電原理、無燈絲燒毀風(fēng)險的堅(jiān)固設(shè)計以及模擬式直觀操作,為各類真空設(shè)備提供了一款可靠耐用的測量工具。
CR-1N是佐藤真空“SATOVAC"系列中的臺式潘寧真空計(冷陰極電離真空計),采用模擬顯示方式,專為中高真空區(qū)域的穩(wěn)定測量而設(shè)計。該產(chǎn)品以結(jié)構(gòu)簡單、堅(jiān)固耐用著稱,適用于工業(yè)和研究領(lǐng)域的各類真空設(shè)備。
其核心技術(shù)參數(shù)如下:
| 參數(shù) | 指標(biāo) |
|---|---|
| 測量范圍 | 8×10?1 ~ 1×10?3 Pa(單量程) |
| 壓力單位 | Pa(帕斯卡) |
| 測量元件 | D-31M型,φ15 mm規(guī)口安裝 |
| 記錄儀輸出 | 滿量程10 mV |
| 電源電壓 | AC100V 50/60Hz |
| 功耗 | 9 VA |
| 外形尺寸 | W185 × D185 × H120 mm |
| 重量 | 2.9 kg |
CR-1N采用冷陰極放電(Penning放電) 原理進(jìn)行真空測量。與熱陰極電離真空計不同,冷陰極真空計不需要加熱燈絲來產(chǎn)生電子,而是利用磁場中的氣體放電現(xiàn)象。
其工作原理是:在測量元件內(nèi),電子在正交電磁場作用下沿螺旋路徑運(yùn)動,與氣體分子碰撞產(chǎn)生電離。離子電流的大小與氣體壓力成正比,通過測量離子電流即可確定真空度。
這一原理帶來顯著優(yōu)勢:即使在大氣壓下開啟設(shè)備,也不會發(fā)生燈絲燒毀的問題,大大增強(qiáng)了設(shè)備的耐受性和可靠性。
傳統(tǒng)熱陰極電離真空計依賴高溫?zé)艚z發(fā)射電子,在意外暴露于大氣壓或高壓氣體時,燈絲極易氧化燒毀。CR-1N采用冷陰極放電技術(shù),消除了這一風(fēng)險,用戶無需擔(dān)心操作失誤導(dǎo)致傳感器損壞。
CR-1N配備D-31M型測量元件,其磁鐵采用特殊合金材料,實(shí)現(xiàn)了以下特性:
緊湊輕量:整體結(jié)構(gòu)小巧,便于安裝
可清洗設(shè)計:測量元件在受污染后可進(jìn)行清洗維護(hù),延長使用壽命
結(jié)構(gòu)簡單:無易損燈絲部件,故障率低
作為一款模擬型真空計,CR-1N采用傳統(tǒng)的指針式顯示方式,具有以下特點(diǎn):
操作直觀:無需復(fù)雜菜單設(shè)置,旋鈕調(diào)節(jié)簡單明了
狀態(tài)一目了然:指針擺動直觀反映壓力變化趨勢
堅(jiān)固可靠:無數(shù)字顯示屏易損問題,適合工業(yè)環(huán)境
設(shè)備配備滿量程10 mV的記錄儀輸出,可連接外部記錄設(shè)備或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)真空度數(shù)據(jù)的長期記錄與監(jiān)控。
佐藤真空提供豐富的真空計產(chǎn)品線,以滿足不同測量范圍和精度需求:
| 產(chǎn)品系列 | 型號 | 測量范圍 | 顯示方式 | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| 潘寧真空計 | CR-1N | 8×10?1~1×10?3 Pa | 模擬 | 中高真空通用測量 |
| 冷陰極離子計 | CR-D8A | 5.0×10?1~1×10?? Pa | 數(shù)字 | 更高真空度要求 |
| 皮拉尼真空計 | PG-D5A | 1×10?~1.3×10?1 Pa | 數(shù)字 | 低真空至中真空 |
| 皮拉尼真空計 | PG-2BM | 2×103~2×10?1 Pa | 模擬 | 傳統(tǒng)模擬需求 |
| 電離真空計 | IG-D7A | 9.9×10?2~1×10?? Pa | 數(shù)字 | 高真空至超高真空 |
用戶可根據(jù)具體的測量范圍、精度要求和操作習(xí)慣選擇最合適的機(jī)型。
CR-1N憑借其堅(jiān)固耐用的特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
真空鍍膜設(shè)備:監(jiān)控鍍膜過程中的真空度變化
電子束焊接:確保焊接腔體的真空環(huán)境
真空熱處理爐:實(shí)時監(jiān)測爐內(nèi)壓力
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射、蒸發(fā)等工藝的真空監(jiān)控
科研實(shí)驗(yàn)裝置:表面分析儀、質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等
冷凍干燥設(shè)備:監(jiān)測干燥過程中的真空狀態(tài)
測量元件D-31M采用φ15 mm規(guī)口安裝,需確保接口密封良好
設(shè)備應(yīng)放置于平穩(wěn)臺面,避免震動影響測量精度
清潔周期:根據(jù)使用環(huán)境和氣體類型,定期檢查測量元件污染情況
清洗方法:測量元件可拆卸清洗,恢復(fù)性能
環(huán)境要求:吸入氣體溫度10~40°C,環(huán)境濕度75%以下
處理腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w、粉末或水蒸氣時需提前咨詢
頻繁暴露于大氣壓與真空交替狀態(tài)時需注意維護(hù)
佐藤真空(SATOVAC)是日本佐藤工業(yè)株式會社的真空產(chǎn)品品牌,擁有豐富的真空計產(chǎn)品線,從大氣壓(101 kPa)到高真空(1×10?? Pa)均有覆蓋。產(chǎn)品涵蓋數(shù)字型和模擬型,用戶可根據(jù)規(guī)格、環(huán)境和使用便利性選擇最合適的機(jī)型。
作為真空技術(shù)領(lǐng)域的專業(yè)制造商,佐藤真空的產(chǎn)品在半導(dǎo)體、電子、食品工業(yè)及科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
日本佐藤PHIL CR-1N潘寧真空計將冷陰極放電的可靠性、模擬操作的簡便性以及堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計融為一體,為中高真空區(qū)域的測量提供了一款值得信賴的工具。無論是工業(yè)真空設(shè)備的日常監(jiān)控,還是科研實(shí)驗(yàn)中的真空度測量,CR-1N都能以其無燈絲燒毀風(fēng)險的優(yōu)勢和穩(wěn)定的測量性能,成為真空系統(tǒng)長期運(yùn)行的可靠保障。